书目详细信息
： 氧化技术
书目信息 机读格式(MARC)
| 作品语种： | chi |
|---|---|
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 氧化技术/.《半导体器件制造技术丛书》编写组编 |
| 出版发行项： | 北京:,国防工业出版社:,1971 |
| 载体形态项： | 52页:;+图表:;+19cm |
| 丛编项： | 半导体器件制造技术丛书; 5 |
| 题名主题： | 半导体工艺-氧化 |
| 题名主题： | 氧化-半导体工艺 |
| 中图分类： | TN305.5 |
| 个人名称等同： | <半导体器件制造技术丛书>编写组 |
| 团体名称等同： | 半导体器件制造技术丛书编写组 编 |